三坐标测量仪是现代制造业中不可或缺的重要工具之一，它主要用于高精度机械零件及特殊工件的检测与测量。在使用三坐标测量仪时，我们需要了解它的精度指标以及如何进行精度检查。

一、 精度指标

三坐标测量仪的精度指标通常包括位置精度和角度精度两部分。

1. 位置精度

位置精度是指三坐标测量仪在空间坐标系内测量一个点时，该点实际坐标值与测量值之间的差异。通常用最大允许误差（MPE）来表示。MPE是由设备制造商根据ISO 10360标准计算出来的，其公式如下：

MPE = k1 × L + k2 × L² + k3 × L³ + k4 × L⁴ + k5 × L⁵

其中L是被测物体的长度，k1至k5是相应的系数。对于绝大多数的三坐标测量仪而言，其MPE通常在几个微米以内。如果需要更高的精度，则需要使用更高级别的三坐标测量仪。

2. 角度精度

角度精度是指三坐标测量仪在测量被测点时，该点实际角度值与测量角度值之间的差异。通常用最大允许误差（MPE）或最小可分度值来表示。

最小可分度值是指三坐标测量仪能够分辨的最小角度值。对于绝大多数的三坐标测量仪而言，其最小可分度值通常在几秒钟以内。如果需要更高的精度，则需要使用更高级别的三坐标测量仪。

三、 精度检查

在使用三坐标测量仪时，我们需要对其进行周期性的精度检查，以保证其测量结果的准确性。下面是一些常见的精度检查方法：

1. 平移误差检查

平移误差是指在三坐标测量仪的X、Y和Z三个轴上，不同位置的测量结果之间的差异。通过在三个轴上分别测量同一点的坐标值，并比较这些坐标值之间的差异，可以评估测量系统的平移误差。如果发现平移误差过大，则需要进行调整或维修。

2. 旋转误差检查

旋转误差是指在三坐标测量仪的旋转轴上，不同角度位置的测量结果之间的差异。通过在不同角度位置测量同一点的坐标值，并比较这些坐标值之间的差异，可以评估测量系统的旋转误差。如果发现旋转误差过大，则需要进行调整或维修。

3. 重复性检查

重复性是指在相同条件下，反复测量同一点的坐标值之间的差异。通过反复测量同一点，并比较这些测量结果之间的差异，可以评估测量系统的重复性。如果发现重复性过差，则需要进行调整或